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一种自测试机电电容式传感器系统。系统包括机电电容式传感器和控制器。控制器被配置成接收用来激活测试模式的信号，并且当接收用来激活测试模式的信号时：（a）向机电电容式传感器施加偏置电压阶跃，（b）测量作为时间的函数的机电电容式传感器的振膜针对偏...
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