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本发明提供了一种压阻式压力传感器及其制备方法，所提供的压阻式压力传感器包括硅基座、硅应变膜、玻璃基座、压敏电阻和重掺杂接触区；硅基座具有悬臂式连接部，硅应变膜通过悬臂式连接部与硅基座相连，且硅应变膜位于硅基座的合围区域内，硅应变膜与硅基座的...
该专利属于浙江盾安人工环境股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江盾安人工环境股份有限公司授权不得商用。

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