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在蒸镀装置中，包括：腔室，蒸镀对象物设于该腔室内；存在于腔室内、具有用于收纳蒸镀材料的壳体的蒸镀源(6)；和对蒸镀材料进行加热的加热部；在壳体开设有：将该壳体的内外连通、向蒸镀对象物吐出蒸镀材料的蒸气的多个吐出口；和能够开闭的排气口。...
该专利属于株式会社日本有机雷特显示器所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社日本有机雷特显示器授权不得商用。

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