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一种金属硬质膜的制备方法技术
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文档序号:13892087
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一种金属硬质膜的制备方法,涉及一种金属膜制备方法,所述方法包括以下过程:沉积技术的确定、弧源靶材的确定、弧源个数的确定、待镀膜金属基体的选择与前处理、预烘烤工艺的确定、预轰击清洗工艺的确定、钛铝铌合金过渡层的制备工艺的确定、沉积时间的确定、...
该专利属于沈阳大学所有,仅供学习研究参考,未经过沈阳大学授权不得商用。
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