下载一种硅片取片装置的技术资料

文档序号:13851939

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供了一种硅片取片装置,所述取片装置包括硅片载盒、用于托载并驱动所述硅片载盒中的堆叠硅片向上运动的驱动件、用于吸取位于堆叠硅片上方的硅片的吸盘、风刀组件和线性模组,所述驱动件位于所述硅片载盒的下方,所述吸盘位于所述硅片载盒的上方,...
该专利属于苏州宝馨科技实业股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州宝馨科技实业股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。