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本实用新型提供了一种硅片取片装置,所述取片装置包括硅片载盒、用于托载并驱动所述硅片载盒中的堆叠硅片向上运动的驱动件、用于吸取位于堆叠硅片上方的硅片的吸盘、风刀组件和线性模组,所述驱动件位于所述硅片载盒的下方,所述吸盘位于所述硅片载盒的上方,...该专利属于苏州宝馨科技实业股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州宝馨科技实业股份有限公司授权不得商用。
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