下载一种用于多晶硅铸锭工艺的装料方法的技术资料

文档序号:13835809

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本申请公开了一种用于多晶硅铸锭工艺的装料方法,包括:在铺设完颗粒料的籽晶之后,在坩埚的四个角的位置铺设硅块,所述硅块用于阻挡熔化后的液体对所述籽晶的侵蚀,其中,所述硅块与所述坩埚的内表面之间保持第一预设距离;再装入硅料。本申请提供的上述用于...
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