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p型氧化铜薄膜晶体管的制备方法技术
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文档序号:13773209
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本发明提供一种p型氧化铜薄膜晶体管的制备方法,包括以强氧化性的硝酸铜为溶质,以乙酰丙酮、甘氨酸、尿素或柠檬酸为络合剂配置前驱体溶液;然后利用所述前驱体溶液在以重掺杂硅为衬底的二氧化硅绝缘层上形成厚度为30 nm~50 nm的p型氧化铜薄膜并...
该专利属于河南大学所有,仅供学习研究参考,未经过河南大学授权不得商用。
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