下载一种钛薄膜的应用以及使用该钛薄膜的硅基光波导的技术资料

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本发明涉及一种钛薄膜的应用以及使用该钛薄膜的硅基光波导,钛薄膜用于减少甚至完全消除近红外波段的电磁波的反射。本发明将钛薄膜作为近红外波段的电磁波的减反膜,具有宽带(1000nm~2200nm)、宽角度、超薄的性质,同时制备简单,制备成本较低...
该专利属于苏州大学张家港工业技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过苏州大学张家港工业技术研究院授权不得商用。

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