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金属氧化物金属电容器电路及其半导体装置制造方法及图纸
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文档序号:13710367
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本发明涉及一种使用形成于基板上的金属电极通过多个电容器形成的电容器电路,以使得与现有技术相比可以更精确地调整电容器的电容。MOM电容器包含分别通过透过基板上的绝缘薄膜面向彼此的多对金属电极形成的多个MOM(金属氧化物金属)电容器。MOM电容...
该专利属于力晶科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过力晶科技股份有限公司授权不得商用。
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