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本实用新型公开了一种三轴气浮台结构，在所述水平横向滑槽内设置有水平横向滑板，且所述水平横向滑板与所述水平横向滑槽之间设置有第一气浮层，所述水平横向滑板由该第一气浮层支撑而沿所述水平横向滑槽往复滑动；在所述承载底座上方还设置有水平纵向滑槽，在...
该专利属于天津中精微仪器设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津中精微仪器设备有限公司授权不得商用。

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