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本发明公开了一种电容式复合传感器及其制造方法。所述方法包括：在衬底中形成独立的第一空腔和第二空腔，所述第一空腔上方形成第一悬空薄膜，所述第二空腔上方形成悬空薄膜区域，所述悬空薄膜区域内包括至少一个第二悬空薄膜；在所述第一悬空薄膜上形成与所述...
该专利属于上海芯赫科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海芯赫科技有限公司授权不得商用。

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