下载微型阀门装置的技术资料

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一种微型阀门装置,包括:集气板,具有至少一第一贯穿孔、至少一第二贯穿孔、至少一第一卸压腔室及至少一第一出口腔室;阀门片具有一阀孔;出口板,具有至少第三及至少第四贯穿孔、至少一第二卸压腔室及至少一第二出口腔室;当气体自第一及第二贯穿孔进入第一...
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