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一种刻蚀监测方法，包括：形成基底，基底内包括导电材料层，导电材料层表面的宽度与导电材料层的厚度相关；测量第一测量尺寸；刻蚀浮栅层和导电材料层并获得第一刻蚀速率以及第二刻蚀速率；测量第二测量尺寸；根据第一测量尺寸和第二测量尺寸获得导电材料层的...
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