下载具有装载/卸载装置和反应器的用于外延生长的反应室的技术资料

文档序号:13510396

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种用于外延生长的反应器的反应室,包括:‑具有凹部的壁(1),‑衬托器(7),其包括主体和凸起,其中所述主体相对于所述壁(1)以旋转方式放置在所述凹部中,‑圆盘状支撑元件(8),其具有适合于稳定地放置在所述凸起上的形状,具有使得从所述凸起径...
该专利属于LPE公司所有,仅供学习研究参考,未经过LPE公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。