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本发明提供一种用于半加成法制备精细线路中的差分蚀刻溶液，包括基础溶液和差分蚀刻添加剂两部分，其中基础溶液为硫酸和双氧水，所述差分蚀刻添加剂包含双氧水稳定剂、微蚀剂清洁剂、侧蚀保护剂、光泽剂、粗糙度控制剂五类化学试剂。相较于现有技术，本发明可...
该专利属于王靖;张斌;过勇所有，仅供学习研究参考，未经过王靖;张斌;过勇授权不得商用。

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