下载一种用于压紧ito靶材的新型压紧装置的技术资料

文档序号:13493206

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本发明公开了一种用于压紧ito靶材的新型压紧装置,包括安装于绝缘底座上的条状压紧本体,条状压紧本体上设有多个用于与绝缘底座连接的螺孔,设条状压紧本体上安装后位于外侧且与绝缘底座相对的表面为外表面,设条状压紧本体上安装后靠近ito靶材的侧面为...
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