下载镀膜设备的下极板结构及镀膜设备的技术资料

文档序号:13445905

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本实用新型提供了一种镀膜设备的下极板结构及镀膜设备,所述下极板结构包括用于承载待镀膜基板的基板承载板;在所述基板承载板上设置有用于对待镀膜基板进行对位的对位结构,所述对位结构包括用于容置待镀膜基板,以对待镀膜基板进行对位的对位区。本实用新型...
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