下载底片检查机缺陷识别能力测试装置的技术资料

文档序号:13272640

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本实用新型提供了一种底片检查机缺陷识别能力测试装置,包括:缺陷底片,缺陷底片上形成有至少一种缺陷图案,缺陷图案包括多个不同等级的缺陷子图案;与缺陷底片重叠起来配合使用的标识底片,标识底片上形成有与每个缺陷子图案一一对应的标识字符。本实用新型...
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