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本实用新型公开了一种应用于干刻设备工艺腔室中的边环，其特征在于，包括：多个边环单元；各边环单元分别设置有连接结构，所述连接结构设置在各边环单元的两端；各边环单元通过所述连接结构连接在一起构成所述边环，使得所述边环存在的各缝隙大小均小于规定阈...
该专利属于昆山国显光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山国显光电有限公司授权不得商用。

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