下载一种镀膜基片架及真空镀膜设备的技术资料

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本实用新型适用于真空镀膜技术领域,公开了一种镀膜基片架及真空镀膜设备,所述镀膜基片架包括用于传动和支撑的外部框架和设置在外部框架内的至少两个竖杆和至少两个横杆,每相邻的两个竖杆和每相邻的两个横杆围合成尺寸可调的内部框架;每一竖杆与每一横杆滑...
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