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一种在衬底上制造微机电系统（ＭＥＭＳ）装置的方法，包括步骤：处理衬底（１０）以便制作电子电路（１１）；沉积可操作地与所述电子电路（１１）耦合的第一电极（１５）；沉积薄膜（１６），使其机械耦合至所述第一电极（１５）；施加牺牲层（５０）；沉积结...
该专利属于沃福森微电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沃福森微电子股份有限公司授权不得商用。

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