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通用性薄膜材料图形化方法技术
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文档序号:1323225
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本发明公开一种微机械加工技术领域的通用性薄膜材料图形化方法。本发明通过光刻或掩模电镀在基片上制备一次性平面微模具;在整个基片范围内淀积薄膜材料,填满微模具的空隙;通过研磨加工去除薄膜高出微模具的多余部分,并减至所需厚度;选择性去除一次性平面...
该专利属于上海交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海交通大学授权不得商用。
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