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一种非致冷红外焦平面微桥结构的制备方法，属于非致冷红外探测技术领域，涉及ＭＥＭＳ器件结构和制备方法。本发明利用一次薄膜生长工艺完成桥墩、桥腿和桥面的支撑结构，大大降低了工艺难度和复杂性，且桥墩、桥腿和桥面三位一体，使得整个微桥的机械支撑更为...
该专利属于电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过电子科技大学授权不得商用。

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