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本实用新型提供一种喷洒涂布光阻用的晶圆载座以及光阻喷洒涂布机，该喷洒涂布光阻用的晶圆载座包括：一晶圆承载平台，其具有相对的上表面及下表面、以及一环绕该上表面及该下表面的侧表面，其中该上表面用以承载一待喷洒涂布光阻的晶圆，该上表面的面积小于该...
该专利属于精材科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过精材科技股份有限公司授权不得商用。

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