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本发明涉及一种模块化布局，具体说是一种大型平板设备的模块化布局组合装置，该装置包括装载模块、预热模块、工艺模块、冷却模块以及卸载模块。该组合将装载模块、预热模块、工艺模块、冷却模块、卸载模块通过真空阀门顺次相连。该模块化布局便于大型设备的安...
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