下载碳纳米管阵列复合膜的制备方法及换热器的技术资料

文档序号:13125697

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本发明提供一种碳纳米管阵列复合膜的制备方法及换热器,包括如下步骤:S1,在单晶硅(100)基底上依次沉积Al2O3薄膜和Fe薄膜作为催化剂;S2,将真空化学气相沉积设备加热至830~850℃,通入乙烯气体作为碳源,水分辅助生长碳纳米管阵列;...
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