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碳纳米管阵列复合膜的制备方法及换热器技术
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文档序号:13125697
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本发明提供一种碳纳米管阵列复合膜的制备方法及换热器,包括如下步骤:S1,在单晶硅(100)基底上依次沉积Al2O3薄膜和Fe薄膜作为催化剂;S2,将真空化学气相沉积设备加热至830~850℃,通入乙烯气体作为碳源,水分辅助生长碳纳米管阵列;...
该专利属于珠海格力电器股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过珠海格力电器股份有限公司授权不得商用。
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