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本实用新型公开了一种多晶硅生产用石英坩埚裂缝检测装置，其包括检测灯具，所述检测灯具上固定有支架，所述支架与安装支脚通过螺栓组件固定连接，所述支架/安装支脚临近所述安装支脚/支架的一侧设有多个围绕螺栓组件呈环形间隔设置的定位凹槽，所述安装支脚...
该专利属于浙江恒都光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江恒都光电科技有限公司授权不得商用。

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