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本发明揭示了一种套刻误差测量装置及方法。所述套刻误差测量装置包括光源系统、照明系统、主分光镜、物镜及探测器；所述光源系统提供宽波段的测量光束，所述测量光束经过照明系统形成一对称分布的照明光束，所述照明光束入射到主分光镜上发生反射，反射光通过...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

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