下载硅栅石墨烯/黑磷晶体管及制备方法的技术资料

文档序号:13043954

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

硅栅石墨烯/黑磷晶体管及制备方法,涉及半导体器件技术。本发明的晶体管包括衬底、栅电极、栅介质、源电极和漏电极,其特征在于,衬底上设置有隔离氧化硅层,隔离氧化硅层上设置有氧化硅槽,在氧化硅槽内设置有栅电极和栅介质,基底表面上设置有石墨烯/黑磷...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。