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硅栅石墨烯/黑磷晶体管及制备方法技术
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文档序号:13043954
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硅栅石墨烯/黑磷晶体管及制备方法,涉及半导体器件技术。本发明的晶体管包括衬底、栅电极、栅介质、源电极和漏电极,其特征在于,衬底上设置有隔离氧化硅层,隔离氧化硅层上设置有氧化硅槽,在氧化硅槽内设置有栅电极和栅介质,基底表面上设置有石墨烯/黑磷...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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