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本申请涉及使用对流来空间控制蒸气冷凝。所公开的标的物的实施例提供方法和系统，其包括喷嘴、与所述喷嘴成流体连通的待沉积在衬底上的材料源、与待用所述喷嘴沉积的所述材料源成流体连通的递送气体源、邻近于所述喷嘴安置的排气通道、与所述喷嘴和所述排气通...
该专利属于环球展览公司所有，仅供学习研究参考，未经过环球展览公司授权不得商用。

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