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本实用新型涉及半导体切割设备技术领域，尤其是一种高精度、高稳定性的切割机。它包括基台、X轴传动机构、Y轴传动机构、Z轴传动机构、主轴切割装置和旋转机构；X轴传动机构固定在基台上，旋转机构连接于X轴传动机构并由X轴传动机构驱动运行；Y轴传动机...
该专利属于深圳市腾盛工业设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市腾盛工业设备有限公司授权不得商用。

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