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磁场测量装置制造方法及图纸
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文档序号:12835757
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磁场测量装置具有:第一半导体主体,具有在第一x-y平面中构成的表面,第一半导体主体在该表面上具有两个相互间隔开的磁场传感器,磁场传感器分别测量磁场的z分量,x方向和y方向和z方向分别相互正交地构成;第一磁体,具有在第二x-y平面中构成的平的...
该专利属于迈克纳斯公司所有,仅供学习研究参考,未经过迈克纳斯公司授权不得商用。
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