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本发明提供了一种具有超高硬度的纳米结构涂层，由至少一个TiSiN层和至少一个CrAlN层构成，所述的TiSiN层和CrAlN层交替沉积在基体上。本发明还提供了上述具有超高硬度的纳米结构涂层的制备方法，首先将经抛光处理后的基体送入超声波清洗机...
该专利属于上海理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海理工大学授权不得商用。

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