下载一种MIS晶体硅太阳能电池及其制备方法的技术资料

文档序号:12818030

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本发明公开了一种MIS晶体硅太阳能电池的制备方法,包括如下步骤:a)在硅片正面进行制绒;b)在硅片正面进行高方阻扩散制p-n结;c)将扩散后的硅片去磷硅玻璃;d)在硅片正面制备隧穿层;e)在隧穿层表面制备Al正电极;f)在硅片背面制备Al背...
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