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具有一致传感器表面区域的化学传感器制造技术
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下载具有一致传感器表面区域的化学传感器的技术资料
文档序号:12799133
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在一个实施方式中,描述了化学传感器。化学传感器包括化学灵敏的场效应晶体管,其包括具有上表面的浮栅导体。材料限定延伸至所述浮栅导体的上表面的开孔。材料包括在第二电介质下方的第一电介质。导电元件接触所述浮栅导体的上表面并且沿着开孔的侧壁延伸一定...
该专利属于生命科技公司所有,仅供学习研究参考,未经过生命科技公司授权不得商用。
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