下载具有一致传感器表面区域的化学传感器的技术资料

文档序号:12799133

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

在一个实施方式中,描述了化学传感器。化学传感器包括化学灵敏的场效应晶体管,其包括具有上表面的浮栅导体。材料限定延伸至所述浮栅导体的上表面的开孔。材料包括在第二电介质下方的第一电介质。导电元件接触所述浮栅导体的上表面并且沿着开孔的侧壁延伸一定...
该专利属于生命科技公司所有,仅供学习研究参考,未经过生命科技公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。