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本发明公开了一种熔石英光学曲面的大面积纳米微结构调控制备方法，步骤包括：将熔石英光学曲面光学零件固定；设置离子入射角θ、离子能量Eion、束流密度Jion以及加工时间t；确定对熔石英光学曲面光学零件进行离子束加工的运动轨迹；采用离子源根据所...
该专利属于中国人民解放军国防科学技术大学所有，仅供学习研究参考，未经过中国人民解放军国防科学技术大学授权不得商用。

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