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一种基板收纳箱，该基板收纳箱备有形成了支持靠近基板中心位置的向上凸部的基板支承物，由机械手等搬运机构进行基板的出入，其特征在于，把上述基板支承物的形状做成摹仿上述搬运机构从下方支持基板时基板产生的挠曲形状。...
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