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一种用以传送在液体化学品中的有效成份至一化学蒸气沉积系统的封闭化学品导入系统，包括含有一界定剂量的液体化学品的一坚固、无水分筒匣。该筒匣是放在特别构形成收纳该筒匣的一安装槽孔上。在启动该系统后，一第一线性机械致动器确实地保持该筒匣在该槽孔中...
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