下载一种循环水式真空泵水冷装置的技术资料

文档序号:12711503

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本实用新型涉及真空处理技术领域,尤其涉及一种循环水式真空泵水冷装置。其包括真空泵,所述真空泵通过管路与反应釜出气口连接,所述真空泵还与水箱、水泵连接形成一个闭合的循环回路,所述真空泵与水泵之间还设有冷凝器,且所述真空泵通过管路还与废气处理系...
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