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本实用新型公开了一种可抑制光学元件中频误差的超声振动抛光磨头装置，包括抛光工具体、磨盘、柔性铰链磨头以及可带动抛光工具体进行超声振动的超声波振动装置；该磨盘可旋转地安装在该抛光工具体上，其上设有若干孔，所述的柔性铰链磨头通过柔性铰链安装在该...
该专利属于厦门理工学院所有，仅供学习研究参考，未经过厦门理工学院授权不得商用。

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