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本发明公开一种用于在基板上形成电池活性材料的方法及装置。在一个实施例中，一种用于在基板的表面上沉积电池活性材料的装置包括：基板输送系统；材料电喷雾分配器组件，安置在所述基板输送系统上方；及第一加热元件，邻接于所述材料喷雾组件而安置在所述基板...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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