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本发明提供一种曝光装置与方法，其利用通过投射光学系统投射图案像对衬底曝光，并且包括衬底夹具，保持衬底；检测装置，检测出用来相对于投射光学系统将衬底表面做定位的修正量；驱动装置，基于修正量驱动衬底夹具。检测装置包括投射系统，通过第一反射面，从...
该专利属于株式会社尼康所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社尼康授权不得商用。

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