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振动元件及其制造方法、振子、陀螺仪传感器、电子设备和移动体技术
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文档序号:12613468
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提供振动元件及其制造方法、振子、陀螺仪传感器、电子设备和移动体。为了提高对冲击的耐久性,石英振动元件在俯视时具有凹部。此外,所述振动元件具有:相互处于正背关系的第1主面和第2主面;以及配置于所述第1主面与所述第2主面之间的侧面,所述侧面由通...
该专利属于精工爱普生株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。
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