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元件安装装置及元件安装装置的校正方法制造方法及图纸
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文档序号:12576302
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本发明能够通过一个识别用相机来拍摄设于基台侧的基准标记和设于安装头侧的基准标记。相对于识别用相机(50)的光轴,对从上方识别设于基板(B)的基板标记(BM)的基板识别用光路(81)和从下方识别吸附于吸嘴(55)的元件的元件识别用光路(82)...
该专利属于富士机械制造株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过富士机械制造株式会社授权不得商用。
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