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通过C离子注入降低CMOS图像传感器白像素的方法技术
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下载通过C离子注入降低CMOS图像传感器白像素的方法的技术资料
文档序号:12565171
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本发明公开了一种通过C离子注入降低CMOS图像传感器白像素的方法,针对传统CMOS图像传感器白像素较高的问题,通过采用离子注入工艺,在光电二极管周围的P+型隔离区中注入一定浓度的C离子,并通过高温退火工艺,促进P+型隔离区中C离子对氧气的聚...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。
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