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本实用新型涉及一种化学机械抛光装置的调节器，其包括：臂部，从旋转中心延伸而进行往复旋转运动；调节单元，与在上述臂部的末端部进行旋转驱动的驱动轴相联动而旋转驱动，在底面握持有调节盘，一边向上述抛光垫施压，一边对上述抛光垫的表面进行微切削；以及...
该专利属于K.C.科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过K.C.科技股份有限公司授权不得商用。

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