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本发明涉及一种新的包含聚合热酸发生剂的含水组合物和将该新的组合物涂覆到光致抗蚀剂图案上，由此在该光致抗蚀剂图案上形成聚合热酸发生剂层的方法。该聚合热酸发生剂包含具有至少一种结构2的重复单元的聚合物：其中R1-R5独立地选自H和C1-C6烷基...
该专利属于AZ电子材料卢森堡有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过AZ电子材料卢森堡有限公司授权不得商用。

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