下载一种除灰清洁硅片制绒剂及其制备方法的技术资料

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本发明公开了一种除灰清洁硅片制绒剂,其特征是由下述重量份的原料制得:十二烷基乙氧基磺基甜菜碱0.5-1,氢氧化钠1.5-2.5,尿囊素0.3-0.5,丙二醇甲醚0.5-1,制绒调节剂5-10,乙二胺四乙酸四钠0.5-1,羟甲基甘氨酸钠0.2...
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