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双轴应力施加装置及应变MOS芯片输出特性测试方法制造方法及图纸
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下载双轴应力施加装置及应变MOS芯片输出特性测试方法的技术资料
文档序号:12418989
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本发明涉及一种双轴应力施加装置及应变MOS芯片输出特性测试方法,该方法包括: (1)将所述MOS芯片固定在所述下支架(a)和所述上支架(b)之间;(2)测试所述MOS芯片未施加双轴应力前的第一输出特性曲线;(3)将所述顶头(c)放置在位于所...
该专利属于西安电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安电子科技大学授权不得商用。
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