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本实用新型涉及化学气相沉积技术领域，具体公开了一种特气管路，包括特气管道和特气孔，所述特气管道的侧壁上设有带内螺纹的口，所述特气孔为设有通孔的螺栓，所述通孔沿螺栓柱轴心贯穿螺栓，所述特气孔通过螺纹连接在特气管道的侧壁口上，用于输出特气，其特...
该专利属于英利能源（中国）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过英利能源（中国）有限公司授权不得商用。

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